泡の液化処理を推進します

概要
特殊な装置により、槽内に発生した泡をブロワーで吸引し、独自のセパレートシステムの採用により液化を実現します。
※特許出願中
全体写真
製品詳細

装置寸法 幅７００ X 奥行７２５ X 高さ１７００㎜
標準仕様 排気　４ｍ3／ｍｉｎ
電気　２００V　２．０kw（７．５A）
性能 泡吸引量：１００～１５０㍑／ｍｉｎ
現像浴量：５７０㍑
レジスト含有量：０．６㎡ｍｉｌ／㍑
消泡剤無使用での連続運転が実現

メリット
◆ 消泡剤不使用によるコスト削減
ex：消泡剤使用量　月平均￥３０，０００／装置 X １２ヶ月＝￥３６０，０００
◆ 製造基板品質への影響軽減
消泡剤の残渣による製造基板への影響懸念の解消及び基板品質向上。
◆ 槽内のスカム付着による汚染の軽減
高価な専用クリーニング剤使用の大幅削減によるコストダウン実現。
◆ 環境に優しい
薬品の不使用により、環境への配慮が促進されます。
◆ 既設ラインとの容易な組み合わせが可能
お客様のスペースに合わせたタイプをご提案致します。
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装置の仕組み